クリーンルーム用位置決めステージ ILS：井口機工製作所

ガラス基板搬送用カセットをシンプルに位置決めするステージユニットです。…

各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。 特許取得商品です。 滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムース...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社