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高スループット 高信頼性 低コストなバッチ式処理装置
■カセットタイプのバッチ式処理装置です。 ■APM/MS、SPM、HPM、DHF等のRCAプロセスに対応したバッチ処理に最適 ■有機剥離やPoly-Si再生等の基板再生処理にも対応します。 ■MEMS...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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