ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

フルオートマティックスピン洗浄装置　300mm/8インチウエハー、ガラ…

本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター