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244件
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リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーAでケミカル処理、チャンバーBでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能
カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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CO2ガスによる自動消火システムを装備
基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーAでケミカル処理、チャンバーBでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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