インライン式超高純度ガス精製器ファインピュアラー300NL

インライン式超高純度ガス精製器ファインピュアラー「300NL/minの…

【製品仕様(一部)】 ■適用ガス：N2（※1） ■除去対象不純物：O2, CO, CO2, H2O ■原料ガス純度：5Nガスボンベ相当以上 ■精製ガス中不純物濃度各除去対象成分：1ppb未満 ■使用圧力：0.3MPaG以上 0.98MPaG以下 ■最大圧力：0.98MPaG ■最大流量：300NL/min ■圧力...

メーカー・取り扱い企業： 大阪ガスリキッド株式会社