FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

移動式集塵機『ミクロマン-S』

便利な移動式で作業効率大幅ＵＰ！数ミクロンの微粉でも長時間補集が可能な…

い濾過面積(6m2)を 可能とした事により、数ミクロンの微粉でも長時間補集できます。 新設計のターボファンと、強化樹脂製本体の採用により、軽量で低騒音。 集塵袋の取替はワンタッチで簡単、クリーンな作業が行えます。 また、払い落としが自動式の「ミクロマン-SG」と、Wフィルター採用で 集塵捕集時間が大幅にアップした「ミクロマン-L」もラインアップしています。 【特長】 ■数...

メーカー・取り扱い企業： 奥田機械株式会社