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PRG1~G6hの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…
当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用(LCD・OLED)フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ディー・アール・エス(DRS)
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【FOOMA2024出展決定】クリーン環境対応の天井搬送システム
PR納入事例動画あり!工程間搬送で実績多数のワーク形状を問わない高速搬送シ…
■FOOMA JAPAN2024に出展決定■ 会場 :東京ビックサイト 東1~8ホール 会期 :2024年6月4日(火)~7日(金) 4日間 ブース番号:東7 P-15 ぜひ実機をご覧ください! 「オートランバンガードMark2」は、モノレール式の高速自動搬送システムです。天井を走行し、人やコンベヤや加工機などの地上導線に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。ハンガ部分はお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社椿本チエイン マテハン事業部
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多点監視用パーティクルカウンター 0.1μm対応
クリーンルームの常時監視に最適...
メーカー・取り扱い企業: リオン株式会社
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気中パーティクルカウンター 0.1μm対応 偽計数の少なさが特長
0.1 μm、 28.3 L/min。 スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験に 国内製造・国内メンテナンス...
メーカー・取り扱い企業: リオン株式会社
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パーティクルカウンター気中 0.3μm 多点監視用 KA-03
気中パーティクルカウンター 0.3μm クリーンルーム常時監視システ…
常時監視システム、自動運転システムの構築が可能 小型で作業の邪魔にならない気中パーティクルカウンター 国内製造・国内メンテナンスの充実のサポート体制...● ISO 21501-4(JIS B 9921)適合 ● 粒径区分(5段階)0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.0μm、5.0μm以上 ● センサ・ポンプ一体の小型設計 ● 筐体にステンレスを採用し、耐薬品性を向上 ● 多点モニ...
メーカー・取り扱い企業: リオン株式会社
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特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮 0.1μmか…
半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能 国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器...●5段階の粒子を同時に測定 0.1 μm、0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm以上 ●定格流量は100 mL/min・最大300 mL/min ●イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能 ●リークタイト、アウトガスフリー、デットスペースフリーを実現 ●SiH...
メーカー・取り扱い企業: リオン株式会社
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パーティクルカウンター液中 超純水 0.05μm KL-30A
0.05 μm、超純水の粒子汚染を監視 純水供給ライン直結 インライ…
半導体製造工場 純水プラント送りで粒子数モニタリング プロセスラインの純水を常にクリーンな状態に...
メーカー・取り扱い企業: リオン株式会社
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