FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

【FOOMA2024出展決定】クリーン環境対応の天井搬送システム

PR納入事例動画あり！工程間搬送で実績多数のワーク形状を問わない高速搬送シ…

■FOOMA JAPAN2024に出展決定■ 会場　　　：東京ビックサイト　東１～８ホール 会期　　　：2024年6月4日(火)～7日(金)　4日間 ブース番号：東7　P-15 ぜひ実機をご覧ください！ 「オートランバンガードMark2」は、モノレール式の高速自動搬送システムです。天井を走行し、人やコンベヤや加工機などの地上導線に囚われない最短ルートでの工程間搬送を実現します。ハンガ部分はお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン　マテハン事業部

パーティクルカウンター 気中 0.1μm KA-82

多点監視用パーティクルカウンター 0.1μm対応

クリーンルームの常時監視に最適...

メーカー・取り扱い企業： リオン株式会社

パーティクルカウンター 気中 0.1μm KC-24

気中パーティクルカウンター 0.1μm対応 偽計数の少なさが特長

0.1 μm、 28.3 L/min。 スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験に 国内製造・国内メンテナンス...

メーカー・取り扱い企業： リオン株式会社

パーティクルカウンター気中 0.3μm 多点監視用 KA-03

気中パーティクルカウンター 0.3μm クリーンルーム常時監視システ…

常時監視システム、自動運転システムの構築が可能 小型で作業の邪魔にならない気中パーティクルカウンター 国内製造・国内メンテナンスの充実のサポート体制...● ISO 21501-4（JIS B 9921）適合 ● 粒径区分（５段階）0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.0μm、5.0μm以上 ● センサ・ポンプ一体の小型設計 ● 筐体にステンレスを採用し、耐薬品性を向上 ● 多点モニ...

メーカー・取り扱い企業： リオン株式会社

パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93

特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮 0.1μmか…

半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能 国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器...●5段階の粒子を同時に測定 0.1 μm、0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm以上 ●定格流量は100 mL/min・最大300 mL/min ●イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能 ●リークタイト、アウトガスフリー、デットスペースフリーを実現 ●SiH...

メーカー・取り扱い企業： リオン株式会社

パーティクルカウンター液中 超純水 0.05μm KL-30A

0.05 μm、超純水の粒子汚染を監視 純水供給ライン直結 インライ…

半導体製造工場 純水プラント送りで粒子数モニタリング プロセスラインの純水を常にクリーンな状態に...

メーカー・取り扱い企業： リオン株式会社