電流安定度、位置安定度は業界トップクラス！電子線描画装置

加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現！※描画デモ可能

クレステックは、ポイントビーム型の専用メーカーとして20年以上、国内外に多数のEB描画装置を納入しております。装置の販売のみならず、EB描画の受託加工サービスも行っております。 ビーム径：2nmΦ以下 最小線幅：10nm以下 加速電圧：50kV, 30kV ステージ：4インチ, 6インチ, 8インチ対応 ※仕様詳細についてはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレステック 本社