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PR高精度・高速光計測センサ、レーザ溶接、溶接中モニタリングなどバッテリー…
■光計測センサ ・Enovsaense - 不透明体の厚み測定 バッテリーのグラファイトコーティング厚み ・Field Sensor - 内部欠陥検査 溶接内部の欠陥をエリア検査 (クラック、ブローホール、ピンホールなど) ・デュアルポイントセンサ(DPS) - 電極厚み測定 距離センサ2個の挟み込みによる高速・高精度測定 ・FSS -...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNな…
グラファイト部品にPBN(熱分解窒化ホウ素)、PG(熱分解グラファイト)、TaC(タンタルカーバイド)などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 1)高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。 2)電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。 3)高温のMOCVD用部品を保護しま...
メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを…
『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。 他にも熱分解窒化ホウ素(PBN)コーティングや熱分解黒鉛(PG)コーティング等も行っています。 【...
メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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