モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社 タンタルカーバイドコーティング
- 最終更新日:2021-08-18 16:29:50.0
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SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを低減し、グラファイトを保護する炭化タンタルコーティング技術
『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。
グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果があります。
他にも熱分解窒化ホウ素(PBN)コーティングや熱分解黒鉛(PG)コーティング等も行っています。
【特長】
■均一な被膜による高い寸法精度
■複雑な形状にも対応できる優れた被覆性
■導電性
■優れた耐摩耗性
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報タンタルカーバイドコーティング
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