タクボ・プレート熱交換器　HET/HEKシリーズ ※省エネルギー

PR気体対気体の排熱回収に優れ、各種乾燥機などから排出される“熱”を最大限…

タクボ・プレート式熱交換器 HET/HEK シリーズは、自社独自開発・特許取得のプレート構造が誇る熱回収効率で驚異のコストパフォーマンスを実現しました。内部伝熱板が2つのチャンネルを完全分離、排気中の湿気・ダストを完全にシャットアウト、”熱”のみを最高の状態で再利用できます。 【特徴】 ■通常のヒートシンク式熱交換器に比べ広大な伝熱板面積を有します。 ■80％以上の熱回収率を誇り（タクボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクボ精機製作所

省エネ・節電システム『Ai-Glies』※事例付きカタログ進呈中

PR業務用エアコンの室外機を自動制御して使用量料金と基本料金を削減！無線接…

『Ai-Glies』は業務用エアコン（EHP）の室外機を自動制御し、 使用量料金と基本料金を削減することできる空調に特化した節電：省エネシステムです。 【『Ai-Glies』の特長】 ●デマンド値の抑制による基本料金削減 　デマンド上限値を設定し、デマンド値の抑制による基本料金削減も可能です。 ●無線接続 による導入コスト 低減 　機器間の無線接続により、導入コストの低減や工期の圧縮を実現します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナデン 本社

《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…

■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■1-チャンバーで「薬液⇒リンス⇒乾燥」のフルプロセスを、Dry-In/Dry-Outで対応 　◎従来方式：2-チャンバー構成（チャンバー間移送時に基板は薬液付着状態） 　◎新方式：UDS式では1-チャンバー構成。 ■基板の基本動作 　◎「上段部…基板のLD」⇒「下段部…ケミカル処理」⇒ 　　　　　　　　　　　　⇒「中段部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング