薄膜塗工やシビアなプロセスに！高精密油圧式定量ポンプTPL

PR光学フィルム・セパレータなど各種機能性フィルムの薄膜塗工に！

精密ポンプのタクミナが提供する様々なニーズに応える課題解決型ポンプ「スムーズフローポンプ」 「TPLシリーズ」は再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下の連続一定流を実現。ダイヤフラムポンプの特性である脈動を抑止し、ナノ単位の精度が求められる先進的な技術分野で実力を発揮、高い精度が求められるシビアなプロセスで選ばれ続けています。 【主な特長】 ■再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下 精密薄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクミナ 本社

全自動CMP装置『MGP-808XJ』

ドライイン/ドライアウトが可能！シリコンウェーハの鏡面仕上げ用装置

ター SFT製「LGP-808XJ」の後継機種の 全自動CMP装置です。 当社開発の新型Headを採用し、ウェーハ表面のGBIR、SFQRの向上を実現。 搬送はエッジクランプ又はエッジコンタクト方式です。 また、洗浄機との結合によりドライイン/ドライアウトが可能です。 【特長】 ■ラップマスター SFT製「LGP-808XJ」の後継機種 ■ウェーハ表面のGBIR、SFQ...

メーカー・取り扱い企業： ミクロ技研株式会社 本社