フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo（デオポ）』

PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 ！生…

『Deopo（デオポ）』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルプラント

防災用LPガスエンジン発電機

安心の72時間連続稼働！[もしも]の時も必要な電気を届け続ける発電機が…

　搭載しているエンジンはゼロベースから開発した発電機専用のエンジンです。 　レーシング技術を応用し開発したエンジンのため馬力、耐久性に優れ、安定して72時間以上の連続運転が可能です。 ■コンパクトサイズ 　発電機自体もコンパクトサイズですので、小スペースで設置することが可能です。 ■LPガスの取り扱いも安心 　燃料は災害に強いLPガスを使用。全国で燃料調達でき、軽油などの燃料と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関電工

【補助率50%以上】補助制度の紹介　防災用LPガス発電機

補助金を活用し、防災用LPガス発電機の導入が可能です！

　搭載しているエンジンはゼロベースから開発した発電機専用のエンジンです。 　レーシング技術を応用し開発したエンジンのため馬力、耐久性に優れ、安定して72時間以上の連続運転が可能です。 ■コンパクトサイズ 　発電機自体もコンパクトサイズですので、小スペースで設置することが可能です。 ■LPガスの取り扱いも安心 　燃料は災害に強いLPガスを使用。全国で燃料調達でき、軽油などの燃料と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関電工

【水災害対策を強化】関電工LPガス発電機

軽量コンパクトなため屋上設置が可能な、防災用LPガスエンジン発電機！

11階の屋上にLPガスエンジン発電機が導入されました。 ■設置概要 　R階に発電機2台、 　2階事務所（災害対策本部）にコンセント盤2面設置 　R階にLPガス容器（20kg×8本） ■設置場所 　11階建事務所ビル（屋上） ■用途 　災害時（停電時）に、2階災害対策本部コンセント盤に電力供給 【当社の発電機HPにて水災害ハザードマップを作成しております。】 ■掲...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関電工

【関電工】BCP対策にプラスワン！_LPガス発電機

長期災害に備え、重要設備に72時間以上の電力供給！

機の稼働時間は、1時間から数時間が大半です。 ■LPガス発電機を新たに導入することで、重要設備へ72時間以上の電力 　供給が可能です。 ■既設のディーゼル発電機が浸水の恐れがある場合にも、コンパクトで 　ある本発電機を新たに屋上に設置し水害対策を行うことも可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関電工

【関電工】防災用LPガス発電機

安心の72時間連続稼働！[もしも]の時も必要な電気を届け続ける発電機が…

　搭載しているエンジンはゼロベースから開発した発電機専用のエンジンです。 　レーシング技術を応用し開発したエンジンのため馬力、耐久性に優れ、安定して72時間以上の連続運転が可能です。 ■コンパクトサイズ 　発電機自体もコンパクトサイズですので、小スペースで設置することが可能です。 ■LPガスの取り扱いも安心 　燃料は災害に強いLPガスを使用。全国で燃料調達でき、軽油などの燃料と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関電工

【災害対策本部へ導入】ビル屋上にLPガス発電機設置し、BCP対策

軽量・コンパクトだから屋上設置可能！災害対策本部へ72時間以上電力供給…

置 　R階にLPガス容器（20kg×8本） ■設置場所 　11階建事務所ビル（屋上） ■用途 　災害時（停電時）に、2階災害対策本部コンセント盤に電力供給 【導入メリット】 ・コンパクトサイズなので屋上設置可能 ・停電後に自動で電力供給 ・72時間以上の長時間安定供給 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関電工