フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

近赤外線ヒーター（ヒートビームシリーズ）

PRハロゲンランプヒーターより放射される光（近赤外線）を照射し、高温・急速…

近赤外線ヒーター　ヒートビームシリーズは、特殊高効率ハロゲンランプから照射される近赤外線を利用し、ライン状やスポット状または、面状の熱源が得られるヒーターユニットです。 反射鏡は特殊金メッキを施し、熱効率が高くコンパクトな設計。 熱源にはハロゲンランプを使用する事により、最大1200℃までの加熱と2mm～3mm程度の集光が可能です。 ハロゲンランプから照射される輻射熱を利用しているので、非接...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイベック

インパルス・ノズル式　脱気真空・ガス充填シーラー　ＣＳ４５

インパルス脱気シーラー卓上型でコンパクト。置き場所を選びません。 ま…

【本機の特長】 ・電源はAC100V、1.5KWと低電力で、家庭用のコンセントで使用できます（CS45片面加熱のみ）。 ・モーター駆動式なので、エア源にコンプレッサーなどの外部配管が不要。電源があればどこでも使えます。 さらに、騒音・振動が少なく、排気がないので、良好な作業環境が保てます。 ・インパルス式でシールするのでやけどの心配がなく、節電対策に優れています。 ・ノズル式で脱気するの...

メーカー・取り扱い企業： ヒライ商事株式会社