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排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2~1/3!水…
『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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