ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○L...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.