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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…
ドに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(＜30W） システム主制御：'Intel...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…
ドに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(＜30W） システム主制御：'Intel...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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