テルモセラ・ジャパン株式会社 【MiniLab-125】 多元マルチスパッタ装置(Φ8"対応)

1000℃ヒーターステージ(SiCコーティング )搭載!コンパクトサイズ! 高機能マルチスパッタリング装置

3源同時スパッタ(RF, DCを自在に配置切替)
高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'Plasma Switching relay module'で3源カソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応
高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)
-1) Max600℃(ランプ加熱)
-2) Max1000℃(C/Cコンポジット)
-3) Max1000℃(SICコーティング)
ロードロック内逆スパッタステージ
-1) 300W、又は
-2) Soft-Etching(<30W)

基本情報【MiniLab-125】 多元マルチスパッタ装置(Φ8"対応)

多元マルチスパッタリング装置(Φ8inch基板対応)
・3元同時成膜 + 1元PulseDCスパッタ
・RF500W, DC850W両電源を3元カソード(Source1, 2, 3)へ自在に配置変更
・5KW PulseDC電源も搭載 → 専用カソード(4)で使用
・基板加熱ステージ Max800℃(SiCコーティングヒーターでMax1000℃も可能)
・MFC x 3系統(Ar, O2, N2)反応性スパッタリング
・メインチャンバー RIEエッチングステージRF300W
・LLチャンバー <30W 低出力制御ソフトエッチング
・独自の"Soft-Ething"技術で基板バイアスにより基板のダメージを軽減
・タッチパネル又はWindows PC操作:操作が分散せず、全ての操作をタッチパネル/PCで行うことができます。
・装置設置寸法:1,960(W) x 1,100(D) x 1,700(H)mm
・マルチチャンバー式も製作可能です。

●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。

価格情報 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 電子デバイス・燃料電池・ディスプレイ等の製造工場、大学・研究機関、薬品・化学工場、食品工場、他多数

カタログ【MiniLab-125】 多元マルチスパッタ装置(Φ8"対応)

取扱企業【MiniLab-125】 多元マルチスパッタ装置(Φ8"対応)

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テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD真空薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター 2. 真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空コンポーネント 6. カスタムメイド装置

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