蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo（デオポ）』

PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 ！生…

『Deopo（デオポ）』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルプラント

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【測定事例】<ヒートシンク>窒化アルミAlNの熱的評価【TM3】

ヒートシンクの材料で知られる窒化アルミの開発に！！

い熱伝導率を持たせるためには、焼結状態の制御が重要ですが、 そのためには、微細な熱伝導率の分布を評価する必要があります。 従来の方法では、微細な領域の熱伝導率分布の測定は困難でしたが、 サーマルマイクロスコープＴＭ３なら、 最小3μmの分解能で熱伝導率の測定が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所

【測定事例】　半導体レーザ 電極部の熱伝導性評価　【TM3】

半導体レーザ 電極部を評価！！

半導体 電極部の熱物性評価ができます。 事例では、Au電極部の下にAl2O3の絶縁膜が存在する部分と、そうではない部分がありますが、サーマルマイクロスコープTM3で評価することで、熱浸透率の違いが観察されています。これは絶縁層による放熱性定価を可視化したことになります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所

【測定事例】<LED材料>窒化ガリウムGaNの熱的評価【TM3】

青色LEDや半導体の材料で知られる窒化ガリウムを熱的に評価！！

て、熱伝導率を評価したい場合、薄膜状態で評価しなければなりません。 また、純度の高い結晶を作成する方法も開発されてますが、 大きさは爪の先ほどの微小サイズにとどまっているようです。 サーマルマイクロスコープTM3は、上記どちらの形状の 熱伝導率／熱浸透率測定に対応しております。 ここでは詳しい数値はご紹介できませんが、 ほぼ文献値に対応した数値が得られています。 たと...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル　ハドソン研究所