連続コーチ KOACH R 1050-F　清浄度ISOクラス1

横に並べることで、いくらでもクリーン空間を横に広げられます。

フィルタを通して清浄化したコヒーレントな気流を対向させた時、 今まで誰も想像できなかった清浄空間が生まれました。 周りを囲うことも仕切ることもないオープンクリーンゾーンの誕生です。 【驚きの気流技術】 オープンクリーンシステム「KOACH」のプッシュフードからは、清浄化されたコヒーレントな気流が吹き出します。しかし、コヒーレントな気流であっても、周りが囲われていなければ吹き出し面から離...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

連続コーチ R 1050-F　清浄度ISOクラス1　興研

横に並べることで、いくらでもクリーン空間を横に広げられます。

連続コーチ 「KOACH R 1050-F」（FERENA搭載）清浄度：ISOクラス1／全換気時間：130秒 「KOACH R 1050-F」は横に並べることで、いくらでもクリーン空間を横に広げられます。 フード間の繋ぎ目からのコンタミナントの混入を防ぐ直角合流※（Rectangular Confluence）技術が搭載。 ※直角合流とは、KOACHの気流技術を応用し「対向する気流」...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5k...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

【KOKENスーパークリーンテクニカルセンター紹介】興研代理店

■ISOクラス１の大空間クリーンゾーンを体感できる■実機デモ可能■事前…

■テクニカルセンターの展示製品 (全機種、クリーンゾーン形成のデモンストレーションが可能) ◆フロアーコーチEz KOACH Ez 3段×7列（オープンクリーンルーム） ◆フロアーコーチFs KOACH Fs 2段×3列（全面クリーンゾーン生成装置） ◆オープンクリーンベンチ KOACH C 900（衝立型） ◆オープンクリーンベンチ KOACH C 645（衝立型） ◆連続コーチ K...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社