ナノプロービングシステム 「Prober Shuttle」

SEM / FIB用ナノプロービング（マニピュレータ）システム 「Pr…

ProberSHUTTLE（PS）は、SEM式ナノプロービング用途向けに特化して開発されました。 PS本体は既存の汎用SEM試料交換室経由で試料室内に導入されます。PSのプラットホーム上には最新のマニピュレータ（3軸）が最大4台まで配置され、SEM像をライブ観察しながら自在に制御できます。 ピエゾ駆動による最小動作分解能は0.25nm、プローブTip径(R)は最小30nmです。観察倍率に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス