ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ポリシリコン洗浄装置

チップからインゴットまで

チップからインゴットまで１台で複数種のワーク処理が可能...【特長】 ○オートハンドラーによるロット同時処理 ○処理量：～20T／日　処理可能 ○各槽温度コントロール機能付き ○BSH乾燥機によるワーク及びバスケットの完全乾燥 ○処理槽サイド排気によるNOXガス滞留極小抑制 ○様々な追加機能をご用意 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧いただくか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： セファテクノロジー株式会社 京都事業所