ポリシリコン洗浄装置

チップからインゴットまで

チップからインゴットまで１台で複数種のワーク処理が可能...【特長】 ○オートハンドラーによるロット同時処理 ○処理量：～20T／日　処理可能 ○各槽温度コントロール機能付き ○BSH乾燥機によるワーク及びバスケットの完全乾燥 ○処理槽サイド排気によるNOXガス滞留極小抑制 ○様々な追加機能をご用意 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧いただくか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： セファテクノロジー株式会社 京都事業所