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画像はCuブランケットウェハの例です!
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像はCuブランケットウェハの例です。 7KA、15KAで成膜した時のCross SEMのウェハです。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【サービスについて】 当社では、...
メーカー・取り扱い企業: アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
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半導体の材料メーカーや装置メーカーに供給するテストウエハについてご案内…
テストウェハとは、次世代半導体プロセス開発に必要な 装置・材料の評価用ウェハです。 半導体製造メーカーは日夜、新しいプロセス技術の開発を行い、 人々の生活が豊かになるよう奮闘をしています。 それを支えるのは材料メーカーや半導体装置メーカーであり、 次世代の技術の開発を行うために日々実験や研究を行っています。 そこでは、ウェハ上のプロセスの均一性を向上させるために、 実際のウェ...
メーカー・取り扱い企業: アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
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【CMP用テストウエハ】MIT W pattern Wafer
国内マスプロダクションで製造した、デバイスグレートに近いパターンウェハ
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 国内マスプロダクションで製造した デバイスグレートに近いパターンウェハです。 均一性、埋込性ともによくできています。 非常に高品質なテストウェハとなっております。 200mm、300mmにて対応可能で...
メーカー・取り扱い企業: アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
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【CMP用テストウエハ】3D ILD Pattern wafer
CMP研究・開発用途に大変有用! 高段差のパターンも用意あり
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像はHDP、SiN on Si の例です。 200mm 300mm にて対応可能です。 対応膜種はご希望によりご相談ください。 高段差のパターンもご用意があり、 CMP研究・開発用途に大変有用です。 ...
メーカー・取り扱い企業: アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
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200mm 300mm にて対応可能! 対応膜種はご希望によりご相談く…
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像はHDP、SiN on Si の例です。 200mm 300mm にて対応可能です。 ※MITマスク使用 対応膜種はご希望によりご相談ください。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合...
メーカー・取り扱い企業: アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
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【CMP用テストウエハ】AMT-S3 MASK Pattern
研究用途におすすめ! HDPをトップ層にしたパターンウェハ
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 AMTオリジナルのマスクで、 HDPをトップ層にしたパターンウェハです。 均一性、埋込性ともによくできており、研究用途におすすめです。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。....
メーカー・取り扱い企業: アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
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【CMP用テストウエハ】CD 50nm STI Pattern
300mmウェハにて対応可能! 近年のデバイスのターゲットサイズに近い…
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 近年のデバイスのターゲットサイズに近い幅で パターンを作ることに成功いたしました。 300mmウェハにて対応可能です。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【サービスに...
メーカー・取り扱い企業: アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
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成膜工程におけるテストウエハを、各企業様の状況に合わせてご提案&製造致…
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 【対応可能膜種】 Cu、Ta、TaN、Ti、TiN、Al-Cu、SiN、 PE-TEOS、HDP、HARP oxide、Poly-Si、 Th-Ox、ACL、SiC、SiON、Photo resist、...
メーカー・取り扱い企業: アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
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成膜工程におけるテストウエハを、各企業様の状況に合わせてご提案&製造致…
アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 【対応可能膜種】 Cu、Ta、TaN、Ti、TiN、Al-Cu、SiN、 PE-TEOS、HDP、HARP oxide、Poly-Si、 Th-Ox、ACL、SiC、SiON、Photo resist、...
メーカー・取り扱い企業: アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社
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