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測定したシリコンウエハは単結晶!IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的…
EBSDで解析したシリコンウエハの事例をご紹介いたします。 ウエハから小片を切り出し、中央50×50μmの領域にてIPFマップを取得。 測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないこと から単...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイテス
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