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低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ…
CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 480mm×350mm×149m...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック…
CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量 約3.6kg ○ユーティリティー AC85 ~ 230V 5...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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