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3軸円筒座標型クリーンロボット
の雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能 ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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