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電動アクチュエータ CMX (精密ステージ) [THK公式]
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ(特許取得済)
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX(アライメントステージ)は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装...
メーカー・取り扱い企業: THK株式会社
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