スパッタ | イプロスものづくり

PRレーザー加工の加工効率UP！切断能力向上、飛散スパッタの低減など効果は…

当コラムでは、夏目光学式ビームシェイパーについてをご紹介しております。ビームシェイパー（ビーム整形光学系）は、既存のレーザー加工機の光学系に搭載することで希望のビームプロファイルへの変換を可能にします。ビームの変換と一言で言ってもいくつかの解釈があり、丸い円形のビームを、四角形（矩形）や、リング形状、ライン形状への変換したり、また1本のビームを2本3本に分岐させたり、と...

メーカー・取り扱い企業：夏目光学株式会社

研究・開発実験用　RFスパッタ装置

実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

☆金属薄膜は勿論、絶縁薄膜/酸化薄膜作製に対応した小型RFスパッタ装置☆ お薦めPOINT　＜実験目的にあわせたカスタマイズ!!＞ 1．試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意 2．カソードサイズは2〜6インチに対応 3．2インチカソードタイプは3源式にも...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

サンユー電子　真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ

スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子

1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」

SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです…

「SC-701MkII」は、シリーズ最小のコンパクトコーターです。デバイスの電極膜付けにも使用可能で、シンプル＆イージーオペレーションです。イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。試料ブロックを用いて簡単にT-S間距離を変更できます。 SEM用試料の前処理用として最適です。【特長】 ○シリーズ最小のコンパクトコーター ○低価格／小型軽量タイ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII

Ni／Cr／Wなどに対応！ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

「SC-701HMCII」は、W(タングステン)/Ni(ニッケル)/Cr(クロム)/Ti(チタン)等の薄膜作製に適したマグネトロンタイプのプログラマグルスパッタコーターです。フルオートとマニュアルの2通りの操作が可能で、ビギナーユースからプロフェッショナルユースまであらゆるニーズに応えます。ソフトウェアにるシステム制御により、成膜条件をより細かに、か...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

デスクトップ全自動コーター

走査電子顕微鏡用試料作製に最適！　試料作製の煩わしさを解消します。

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ ○試料台サイズ：φ70ｍｍ（高さ調節範囲 - 15／20／60ｍｍ） ○排気操作：全自動 ○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型 ○膜厚設定方式：オートプリセット方式（デジタル表示膜厚モニター付） ○高圧電源：1kV／0～20mA ○到達圧力：10Pa ○チャンバーサイズ：120(dia.)×...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

電子顕微鏡試料作製用装置　SC-701Mk II ECO

シンプルを追求したコーター　ボタン1つで簡単に操作できます

イズ：φ49ｍｍ〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd ○試料サイズ：φ50ｍｍ(Max) ○排気操作：手動式〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min ○スパッタ方式：DCマグネトロン／平行平板型 ○寸法(W/D/H)：160/255/286mm...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

コーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。【特長】 ○オプション...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

コンパクトコーター　SVC-700TMSG/Adexcel

小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。

トコーター SVC-700TMSG/Adexcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。【特徴】 ○ターゲット...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社