大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超音波スキャニング装置

PR超音波探傷器とデータ処理パソコンでの構成！探傷条件の設定、結果の保存、…

『超音波スキャニング装置』は、対象ワーク内の欠陥を全没水侵にて検出し、 リアルタイムでデータ収録・画像処理する自動超音波探傷装置です。 検査は、位置情報を基に超音波信号を画像処理し、平面図、 断面図に展開して欠陥の位置、形状をモニタに表示。 内部欠陥、肉厚（厚み）測定、溶接接合部、スパッタ材・ターゲット材などの内部・接合検査など色々な検査に使用できます。 検査結果画像は評価方法に合わせた色表...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社エヌ・ケイ・システム

測定球『ミニチュアゲージ』

取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が…

割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。 取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの 圧力計測が1つのゲージで行なえます。 【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-2I/NW16、25 ■MG-2I/φ34IC...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社