【ヒカリの豆知識】夏目光学式ビームシェイパーのご提案

PRレーザー加工の加工効率UP！切断能力向上、飛散スパッタの低減など効果は…

当コラムでは、夏目光学式ビームシェイパーについてをご紹介しております。 ビームシェイパー（ビーム整形光学系）は、既存のレーザー加工機の 光学系に搭載することで希望のビームプロファイルへの変換を可能にします。 ビームの変換と一言で言ってもいくつかの解釈があり、丸い円形のビームを、 四角形（矩形）や、リング形状、ライン形状への変換したり、また1本の ビームを2本3本に分岐させたり、と...

メーカー・取り扱い企業： 夏目光学株式会社

［GDMS］グロー放電質量分析法

特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

Ar雰囲気下で、試料をマイナス極としてグロー放電を行います。Arガスが試料に衝突することにより試料構成元素がスパッタされます。スパッタにより放出された元素は大部分が中性ですが、Arプラズマ中でイオン化されます。 イオン化された原子を二重収束型質量分析器で測定し、元素の定性及び濃度の算出を行います。 試料...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで、試料表面を走査させることにより、特定領域を削ったり（スパッタ）、特定領域に炭素（C）・タングステン（W）・プラチナ（Pt）等を成膜することが可能です。また、イオンビームを試料に照射して発生した二次電子を検出するSIM像により、試料の加工形状を認識できます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［XPS］X線光電子分光法

試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有…

r Chemical Analysis とも呼ばれています。 ・固体表面（約2～8nm）の元素の定性・定量が可能 ・化学結合状態分析が可能 ・非破壊で分析が可能 ・深さ方向分布（イオンスパッタを併用）の測定が可能 ・絶縁物の測定が可能 ・雰囲気制御下での測定が可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であるこ…

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。 スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。 ・有機・無機化合物の構造解析・同定が可能 ・異物検査装置の座標データとリンケージが可能 ・ミクロンオーダーの微小異物から数...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST