ウエハーセンス　サイバーオプティクス製　製造装置改善用測定センサ

ウエハーセンスは装置改善に好適な測定器です。客観的な測定を行い、改善効…

ングシステム(ATS2) ウエハと同じように配置され、ウエハーの位置座標データ(XYZ)を高精度に測定します。 ◆オートギャップ測定システム（AGS） PECVDやドライエッチング、スパッタリング装置などの半導体プロセスチャンバーに使える真空互換性のある非接触ギャップ測定による平行性調整を実現 ◆オート振動システム(AVS) プロセス装置の中を自動搬送させて3軸の加速度と振動を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズキ