小型・高精度・高耐圧　圧力センサ「3100/3200シリーズ」

高い信頼性と優れた温度特性により、組込み用途に最適な圧力センサ

3100/3200 シリーズは信頼性を要求される装置組込みに最適化された圧力センサです。 スパッタリング技術により形成された薄膜歪ゲージを採用し高感度と長期安定性を両立、ステンレス製ダイアフラムは様々な媒体に対して堅牢・高耐蝕性を確保します。 さらに新開発のＡＳＩＣで部品点数を極限まで削減し、...

メーカー・取り扱い企業： フォーティブＩＣＧジャパン株式会社

圧電膜成膜装置

MEMSやFBARの生産に特化した成膜装置です。

原理：DC，AC（デュアルマグネトロン）スパッタリング 特徴 AlN、AlScN（圧電）膜、Mo（メタル）膜の成膜 優れた応力制御/分布 結晶性 高スループット 高歩留まり 高いメンテナンス性 200 mm　ウエハ対応 非常にコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

立体形状への成膜加工

平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます！ご希望の成膜箇所をお聞…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

広周波数帯域用標準CT「CTL-35-S162-5F-1R10」

交流電流センサ　高周波CT

【特徴】 ◯スパッタリング用電源（13.56MHz）の電流モニター用途に ◯10Hz～15MHzの広周波帯域対応、標準CTとして使用可能 ◯試験・研究用基準電流センサとして使用できる高精度を保証 ◯アルミケース入...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユー・アール・ディー

クランプ型CT「CTL-35-S162-5F-1R10-CL1」

交流電流センサ　高周波CT

【特徴】 ◯スパッタリング用電源（13.56MHz）の電流モニター用途 ◯20Hz～15MHzの広周波帯域対応で、分割形標準CTとして使用可能 ◯試験・研究用基準電流センサとして使用できる高精度を保証 ◯アルミケ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユー・アール・ディー