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有機EL等の基板製造装置に最適!
基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装置で...
メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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