- 製品・サービス
1件 - メーカー・取り扱い企業
企業
0件 - カタログ
80件
絞り込み条件
製品分類
メーカー・取扱い企業
-
-
5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能!誤操作防止センサ、緊急停止ボタン…
『PWT2020』は、クリーンロボットを応用したウェーハ搬送装置です。 カセットからウェーハを持ち上げてロード/アンロードを行うため カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防止。 ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどの ローディングエラーを検知します。 【特長】 ■省スペース ■静電気対策型 ■光および機械センサーでエラー...
メーカー・取り扱い企業: PHT株式会社
- 表示件数
- 45件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。