【適用事例】半導体製造装置　金属セラミックス複合材料『MMC』

PR複合材料MMCの接合技術により、新たな用途への展開が可能になりました。

MMC同士を接合することで中空構造体の製造が可能になりました。接合技術で形成された内部流路に冷媒やガスを流すことが可能です。高熱伝導、低熱膨張を特長とするMMCは、温度による熱変形が少なく、組み込まれる部品への悪影響を防ぎます。 ＜冷却ジャケットへの適用＞ アルミナESCとの熱膨張差低減によるアーキング防止、高熱伝導、低熱膨張によるエッチングレート向上 ＜ウエハチャックへの適用＞ ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

【高機能セラミックス展出展】乾式気流粉砕機　『サイクロンミル』

PRS型、W型ともランニングコストが少なく、運転、メンテナンスが簡単！

当社が取り扱う乾式微粉砕機『サイクロンミル』をご紹介します。 「S型」は、向かい合わせに設置した2枚のインペラを同方向に高速で 回転させ、その高速気流の中で粒子同士を衝突・摩砕させて粉砕する 連続型です。 「W型」は、向きを合わせて設置された2枚のインペラを、それぞれの モータにより逆方向に回転させる事により、S型と比べて衝突力がより 大きくなり、更なる微粉砕が可能です。 【S型　特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 月島機械株式会社

パイロメーター　Thermoref　【非接触式 温度計】

【500～1500℃】放射率と反射率の両方の変化の影響を考慮できる、非…

（放射温度計）と同様に物体からの放射温度を測定するだけでなく、放射率を計算し、その変動を補正します。これにより、信頼性の高い温度測定が可能となります。 ・材料研究の温度計測に最適 鉄鋼、セラミックス、セメント、航空電子、原子力など、産業分野での材料研究や新素材の開発における温度計測に最適です。 ・ユーザーインターフェース タッチパネルでの操作に加え、PCソフトウェアによる操作も可能...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

高性能表面温度センサ『S形シリーズ』＜自重形＞

計測領域を大幅に拡大！温度センサの接触部に4点支持構造を採用した自重形…

【S-770　仕様（一部）】 ■熱電対種：タイプEまたはK ■使用温度範囲：-50～300℃ ■耐久性：300℃にて10万回以上 ■接触柱材質：セラミックス ■接触板材質：ニッケル合金　厚み50μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ニッシン産業株式会社

高性能表面温度センサ『S形シリーズ』＜微小表面用＞

ヘッド形状は□6×7mm（先端接触部は□6×5mm）の超小型ペンシルサ…

当製品は、高応答性・高耐久性の全てを集約した高性能センサです。 ヘッド形状は□6×7mm（先端接触部は□6×5mm）の超小型ペンシルサイズ。 セラミックスガードからなる高温（MAX.800℃）と、液晶ポリマーガード からなる低温（MAX.300℃）を用意しています。 【特長】 ■4点支持構造を採用 ■試験成績書を添付 ■耐久性がきわ...

メーカー・取り扱い企業： ニッシン産業株式会社