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【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション
今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…
検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密(高真空)仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■...
メーカー・取り扱い企業: レモジャパン株式会社
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今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…
率1x10⁻¹⁰ Pa.㎥/s(1x10⁻⁹ mbar.l/s )以下の特別セラミックシールドソリューションを提供出来ます。 主なアプリケーション分野: ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー ■ 測長SEM他検査測定装置 高い気密性と手頃な価格により、気密を必要とするチャンバー等との信号の接続に多数ご使用いただいており...
メーカー・取り扱い企業: レモジャパン株式会社
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