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GMP仕様対応可能 解砕・分散分級が実現! 『FSハイシフター』
PR驚異の縦振幅を実現し、解砕・分散分級!超音波発生装置が不要で、微粉・油…
「粉体が目詰まりしてしまう...」「振動で解砕も同時にできれば目詰まりしないのに...」「超音波発生装置は高いし...」こんなお困りごとはございませんか? 『FSハイシフター』は波動運動によりスクリーン上の材料が激しく跳ね上げられスクリーンに衝突、材料の凝集は解砕・分散され分級効果が増大します ナイロン網による分級の為、ランニングコストが低減! 網たたきも不要な事からコンタミのリスクを低...
メーカー・取り扱い企業: 日東機器ファインテック株式会社
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PR高精度(±3μレベル)、難削材(タングステン等)やレアな材質(プラチナ…
こんなお悩みございませんか? 「難削材のため加工が出来ない」 「量産に対応してもらえない」 「高精度で加工してほしいが依頼先が見つからない」 高洋電機株式会社では、精度を要する加工(±3μ)、難削材やレアな材質、難形状、魅せる加工を追求します。 タングステン、ニッケル合金、ニッケル、タンタルなどの難削材の実績多数! マシニング加工、NC旋盤加工、5軸加工、研削盤加工を駆使して対...
メーカー・取り扱い企業: 高洋電機株式会社
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2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品…
Momentiveの『タンタルカーバイドコーティング』は、SiC単結晶成長炉、エピタキシャル装置の部品として多くの実績を有しており、『静電チャック』はSiやSiC半導体プロセスの高温イオン注入、スパッタリング工程で使用されてい...
メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス
シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高…
パイロリティックボロンナイトライド(PBN)やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、 急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。 PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。 超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護...
メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNな…
グラファイト部品にPBN(熱分解窒化ホウ素)、PG(熱分解グラファイト)、TaC(タンタルカーバイド)などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 1)高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグ...
メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを…
『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果がありま...
メーカー・取り扱い企業: モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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