気体漏れ検知カメラ『Si2-Pro』『Si2-LD』

PRノイズキャンセル機能で騒音環境下にも対応。検出が困難な水素など、様々な…

気体漏れ検知カメラ『Si2-Pro』『Si2-LD』は、圧縮空気・ガスの漏れを 正確に検出できるハンディ型の産業用音響カメラです。 検出が非常に難しい水素にも対応しており、稼働中に様々な気体の漏れを可視化することができます。 漏れの早期発見によって、エア・ガスのロスが抑えられトータルコストの削減に貢献します。 【特長】 ■リアルタイムで損失コストをシミュレーションし、対応判断をサポート ■ノイ...

メーカー・取り扱い企業： フリアーシステムズジャパン株式会社

CNCワイヤ放電精密コンターマシン『　TX-150　』新発売！

PRCNCワイヤ放電精密コンターマシンの最新モデルTXシリーズが新発売！ …

従来のDKVシリーズからハード、ソフトの両面でアップグレード！ ワイヤ放電加工機とコンターマシンの特長を併せ持つ 『ワイヤ放電精密コンターマシン』が、ボックス型の機種をリリース！ 限られた設置スペースで高いコストパフォーマンスを実現いたします。 【本製品が選ばれるポイント】 　■　様々な金属材料、硬度に左右されずに形状加工可能！ 　■　マシニングやレーザーカットに比べ導入しやすい価...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タイナテック

SiC半導体製造用機能部品

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品…

Momentiveの『タンタルカーバイドコーティング』は、SiC単結晶成長炉、エピタキシャル装置の部品として多くの実績を有しており、『静電チャック』はSiやSiC半導体プロセスの高温イオン注入、スパッタリング工程で使用されてい...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス

シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高…

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、 急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。 PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。 超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

高温用グラファイト保護コーティング

高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNな…

グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 １）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグ...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

タンタルカーバイドコーティング

SiC半導体や窒化物半導体製造の高温ウェハプロセスで裏面パーティクルを…

『タンタルカーバイドコーティング』は、超高温下でアンモニア、水素、塩酸、溶融金属に対して耐腐食性を有しています。 グラファイト部材にコーティングすることでパーティクルの発生を抑え、寿命を延ばす効果がありま...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社