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G8対応 枚葉スピン式 大型マスク洗浄装置 MSC-1500
リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
【特徴】 ■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応 ■ レジスト残渣/有機物残渣の剥離洗浄 ■ 金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄 ■ 固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄 ■ 受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄(成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、 バックグラインド後など)パーティクル除去、ファイ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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