FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

Plgel PlusPore

狭い分子量範囲内で最高レベルの分解能を発揮

チポア技術を採用した分離効率の高い粒子径の小さい充填剤を採用し、分子量範囲や 　寿命を損なうことなく分解能を大幅に向上 ■OligoPoreは独自の非常に大きいポア容積充填剤により、3,300ダルトン未満のポリマーの優れた分離を実現 【仕様】 ■PolyPore ・分子量範囲(g/mol)：200～2,000,000 ・一般的な効率(p/m)：＞60,000 ・温度上限：150℃...

メーカー・取り扱い企業： アジレント・テクノロジー株式会社