石英管保管庫

石英管や治具を安全に保管

さまざまな用途に対応したストッカーをご用意しております ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください...【特長】 ■石英管や治具を安全に保管出来ます。 ■縦型保管と横型保管を選べます。 ■オプションにてN2パージやクリーンエアー乾燥等装備可能です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

薬品保管庫

クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫

さまざまな用途に対応したストッカーをご用意しております。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。 ■酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

治具洗浄装置

カセットや石英治具等、あらゆる治具の洗浄をご相談に応じて設計製作します…

大型治具の洗浄も設計製作できます。カセット洗浄の場合は、ブラシ組込による精密洗浄付もご用意できます ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください...※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

キャリアストッカー

キャリアをそのまま又はケースに入れた状態で保管

さまざまな用途に対応したストッカーをご用意しております ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください...【特長】 ■キャリアをそのまま又はケースに入れた状態で保管するものです。 ■庫内はクリーンな環境が維持できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

FOUP洗浄装置

特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です…

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能。（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 酸・アルカリなどのガスを適切に処理。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

レチクルキャリアストッカー

レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管

さまざまな用途に対応したストッカーをご用意しております。...【特長】 ■レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管するものです。 ■庫内はクリーンな環境が維持できます。 ■バーコード管理にも対応できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

石英管洗浄装置

カセットや石英治具等、あらゆる治具の洗浄をご相談に応じて設計製作します…

大型治具の洗浄も設計製作できます。カセット洗浄の場合は、ブラシ組込による精密洗浄付もご用意できます ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください...※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン