FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

溶剤再生装置（連続式）

廃溶剤を気化、再び液化して回収をする蒸留再生システム

連続式：廃液の発生量が30～250ℓ/日の程度の場合。 蒸留再生したい成分以外の物（残渣物）が液状、または固形状であっても残渣物の量が少ない場合。 （連続式は、自動運転が可能です。） ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■IEC 国際標準規格の防爆認証 　IEC 60079 シリーズ防爆構造に適合 ■コンパクト設計なの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

バッチ式溶剤再生装置

廃溶剤を気化、再び液化して回収をする蒸留再生システム

バッチ式：廃液の発生量が10～150ℓ/日程度の場合。 蒸留再生したい成分以外の物（残渣物）が、液状・固体状のどちらにも対応。 （バッチ式は、連続自動運転は出来ません。）...【特長】 ■IEC 国際標準規格の防爆認証 　IEC 60079 シリーズ防爆構造に適合 ■コンパクト設計なので設置スペースを選びません ■細かい温度設定が可能 　蒸留温度の設定を 50℃～200℃の間で 1℃...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン