FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】抗ウイルス・除菌用紫外線照射装置Care222(R)

波長222nmに絞って、人体に影響のない紫外線だけ照射できる除菌技術で…

株式会社ダルトンより新型コロナウイルス対策製品のご紹介！ Care222(R)iシリーズで「光」で環境表面と空気のウイルス除去 Care222(R)とは ●紫外線の優れた殺菌力 光が当たる部分にウイルス除...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン