FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【コンタミ防止】アイソレーションクリーンベンチ PureQ-be

※展示機有　コンタミネーションリスク低減と作業性向上の両立を実現する密…

分注工程（分注機内蔵可能） 〇ロボットの庫内設置による自動操作 ※当社の静岡テクノパーク（静岡県藤枝市）にて、実機をご覧いただけます。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、ダルトンまでお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン