FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【研究施設】エアシャワー　NAS

塵埃や微生物類を、高速の清浄空気で洗浄・除去！エアシャワー

「NAS」は、クリーンルームなどの清浄作業室への入室の際、外部からの汚染物質を持ち込まないよう人体や物品に付着している塵埃や微生物類を、高速の清浄空気で洗浄・除去し、クリーンアップするエアシャワーです。詳しくお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...【特長】 ○集塵効率0.3ミクロン、99.97％以上のHEPAフィルタでろ過されたクリーンエアで、洗浄・除去します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン