FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

膜ろ過技術

逆浸透、ナノろ過、限外ろ過、精密ろ過を可能にするGEAのろ過技術です。

数多くのアプリケーションで、従来の方法（回転真空ろ過機またはフィルタープレス）に比べて費用対効果に優れたソリューションをご提案します。 膜ろ過は、圧力を使用したろ過技術で、1.5μm から数ダルトン（統一原子質量単位）の分子量までの分子を分離します。膜ろ過技術は、分離 に使用する技術と分離能力により、以下のように分かれます。 〇逆浸透（Reverse Osmosis, RO） 〇ナ...

メーカー・取り扱い企業： GEAジャパン株式会社 本社