FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

容積定量型ポンプ『797PCP-2Kシリーズ』

2液性液剤のディスペンシングにおいて、より高い精度と再現性を備えた塗布…

『797PCP-2Kシリーズ』は、高い精度で2液性混合液剤の 定量ミックスディスペンシングが行える容積定量型ポンプです。 ポンプは0.01mL、0.05mL、0.15mLの3種類のサイズがあり、 複数の混合比に設定が可能。 連続シールはせん断・パルス出力・液剤の絞り出しを防ぎ、 研磨材を含むペーストの塗布も理想的に行えます。 【特長】 ■完全に密閉された定量チャンバー ...

メーカー・取り扱い企業： 東京材料株式会社

容積定量型ポンプ『797PCPシリーズ』

液剤の無駄を最小限に抑えながら工程管理を向上！幅広い用途に使用可能

『797PCPシリーズ』は、正確かつ繰り返し精度の高い液剤塗布を実現する 容積定量型ポンプです。 最小単位は1回転あたり0.01mLで、非常に高い塗布安定性が求められる 工程管理に好適。 このモジュール設計は革新的なキャビティ原理に基づくもので、 コアコンポーネント（ローターおよびステーター）は完全に密閉された 定量チャンバーを形成します。 【特長】 ■±1%の高精度か...

メーカー・取り扱い企業： 東京材料株式会社