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ヨーロッパ 発の技術!Leuven instruments装置の日本国…
・Shale Cシリーズ:ICP CVD(誘導結合プラズマCVD) 低温条件(<120℃)で緻密な成膜を実現可能 プラズマによる損傷を低減でき、漏れ電流を抑える 高アスペクト比の穴埋めに適用 ・Shaleシリーズ:PE CVD(プラズマCVD) 2周波数のプラズマ源を搭載、SiNx製膜の応力を幅広く制御可能 ・Ganistarシリーズ:IBD(イオンビーム堆積) 低温低圧条件...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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