FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

薬液対応小型電磁流量センサー『VNS』

ダイヤフラム式電磁定量ポンプの脈動計測を実現した流量センサー

『VNS』は、ダイヤフラム式電磁定量ポンプの脈動流をチャンバーなしで、ダイレクトに計測可能な薬流用電磁流量センサーです。 次亜塩素酸ソーダ・苛性ソーダの薬液計測に対応。 浄水場、配水池での凝集剤や滅菌剤の注入監視・滅菌処理システム・ 工場の排水処理・苛性ソーダの使用量管理に適しています。 【特長】 ■計測部に可動部がないため、異物による故障の心配がない ■ダイヤフラム式電磁...

メーカー・取り扱い企業： 愛知時計電機株式会社

湿式ガスメータ　体積式流量計　TGシリーズ

連続的なガス計測が可能！SUS316TiやPVC(塩化ビニル)など様々…

当社では、ガス計測に使用する『体積式流量計』を取り扱っております。 本体内の計量ドラ厶はスパイラル構造の4つのチャンバーに仕切られ、 ドラ厶の全容積の約2/3は封液(オイル、水等)で満たされています。 ドラ厶の背面より流入するガスはドラムの封液と置換され、 順次各チャンバーを押し上げます。 この体積移動が計量ドラ厶を回転させる動力となり、その回転運動は、 対向式マグネットカップ...

メーカー・取り扱い企業： 日本フローコントロール株式会社